炭化ケイ素（SiC）
共有結合の強い人工鉱物であり、アルミナ、窒化ケイ素を上回る硬度があります。特に摺動摩耗に強い特性を持っている材料が炭化ケイ素セラミックスです。高温下でも強度を保ち、優れた耐食性も備えています。
特性表
機械特性
| 型番 | 密度 g/cm3 |
弾性率 GPa |
曲げ強度 MPa |
硬度 GPa |
破壊靭性 MPa√m |
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|---|---|---|---|---|---|---|
| 標準品 | N-Type | 3.1 | 410 | 500 | 24 | 3 |
熱、電気特性
| 型番 | 熱膨張係数 ×10-6/K |
耐熱衝撃性 K |
熱伝導率 W/m・K |
電気抵抗値 Ω・cm |
絶縁耐力 kV/mm |
誘電率 | 誘電損失 ×10-4 |
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|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 標準品 | N-Type | 4.6 | 450 | 170 | 106 | - | - | - |
用途
- 各種半導体製造装置用部材
- 真空チャック
- メカニカルシール
- 各種耐摩耗、摺動部品
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