真空チャック（ピンチャック）
世界最高峰に類する平面加工技術を用い、カスタマイズされたデザインの創製により、お客様の厳しい要求に合わせた最適なピンチャックを提供します。
究極の平面度を追求し、12inchサイズでは、平面度0.2μmを実現しています。ウェハの形状に応じ、ピンチャックの平面形状を凹凸自在に調整したり、吸着の応答性を高めるために吸着ゾーンやピンパターンをカスタマイズすることもできます。
特長・用途
特長
- 高精度：平面度0.2μm、L/F0.05μm以下
- 形状制御：ウェハの形状に応じたチャック形状（凹凸制御）
- 吸着応答性：仕様に合わせた平面デザインのカスタマイズ
用途
- 半導体露光装置のウェハ固定
- ウェハ検査装置のウェハ固定
技術紹介
◆反りウェハの吸着
最適化された吸着ゾーンやピン配置で理想的な吸着を実現
◆12inch Chuck平面精度
平面度0.2μm、L/F0.05μm以下
◆形状コントロール
ウェハの形状に応じたチャック形状（凹凸制御）を形成
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