アルミナ(Al2O3) 低誘電損失タイプ
アルミナの誘電損失を低く安定化させた材料です。
プラズマを用いる装置(CVD、エッチャー)において下記問題点を解決します。
- ・高出力を掛けないとレートが上がらない。
- ・個々の装置で同じ出力でレートが安定しない。
- ・チューニングに手間が掛かる。
- ・プラズマにムラが出てしまう。
特長、特性(特性値)
特性表
機械特性
型番 | 密度 g/cm3 |
弾性率 GPa |
曲げ強度 MPa |
硬度 GPa |
破壊靭性 MPa√m |
|
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標準品 | A995 | 3.9 | 380 | 450 | 16 | 4 |
低誘電損失タイプ | A995LD | 3.9 | 380 | 360 | 15 | 4 |
耐熱衝撃タイプ | A995S | 3.9 | 370 | 230 | 15 | - |
高純度タイプ | AJPF | 4.0 | 400 | 550 | 20 | 3 |
熱、電気特性
型番 | 熱膨張係数 ×10-6/K |
耐熱衝撃性 K |
熱伝導率 W/m・K |
電気抵抗値 Ω・cm |
絶縁耐力 kV/mm |
誘電率 | 誘電損失 ×10-4 |
|
---|---|---|---|---|---|---|---|---|
標準品 | A995 | 7.3 | 200 | 30 | >1014 | 12 | 10 | <300 |
低誘電損失タイプ | A995LD | 7.5 | 200 | 30 | >1014 | 12 | 10 | <5 |
耐熱衝撃タイプ | A995S | 7.1 | 500 | 30 | >1014 | - | 10 | <300 |
高純度タイプ | AJPF | 7.7 | 200 | 35 | >1014 | 12 | 10 | 1 |
用途
プラズマを不安定化させる要因として、セラミックス使用部材の高誘電損失と不安定化が考えられます。
プラズマを用いる装置(CVD、エッチャー)において下記問題点を解決します。
セラミックスの誘電損失を低く安定化させたA995LDを用いることにより、装置の性能を向上させます。
- パワーロスを低減することによる省電力化
- レートの安定化
- チューニングの省力化
- プラズマの分散防止
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ラインナップ
タイプ | 特徴 | 型番 | 用途 |
---|---|---|---|
標準品 | 大型形状可 比較的安価 |
A995 | ・各種半導体製造装置用部材 ・各種液晶装置用大型部品 ・粉体機器用大型耐摩耗部品 |
低誘電損失タイプ | 低誘電損失 | A995LD | ・半導体製造用プラズマ装置 |
耐熱衝撃タイプ | 耐熱衝撃性 高靱性 |
A995S | ・熱処理プロセスの搬送部品 ・ヒーター周辺部材 |
高純度タイプ | 高純度 ポアフリー |
AJPF | ・半導体製造用プラズマ装置 |