アルミナ（Al2O3） 低誘電損失タイプ
アルミナの誘電損失を低く安定化させた材料です。
プラズマを用いる装置（CVD、エッチャー）において下記問題点を解決します。
- ・高出力を掛けないとレートが上がらない。
- ・個々の装置で同じ出力でレートが安定しない。
- ・チューニングに手間が掛かる。
- ・プラズマにムラが出てしまう。
特長、特性（特性値）
電気的特性
標準アルミナとA995LDの比較
用途
プラズマを不安定化させる要因として、セラミックス使用部材の高誘電損失と不安定化が考えられます。
プラズマを用いる装置（CVD、エッチャー）において下記問題点を解決します。
セラミックスの誘電損失を低く安定化させたA995LDを用いることにより、装置の性能を向上させます。
- パワーロスを低減することによる省電力化
- レートの安定化
- チューニングの省力化
- プラズマの分散防止
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ラインナップ
| タイプ | 特徴 | 型番 | 用途 |
|---|---|---|---|
| 標準品 | 大型形状可 比較的安価 |
A995 | ・各種半導体製造装置用部材 ・各種液晶装置用大型部品 ・粉体機器用大型耐摩耗部品 |
| 低誘電損失タイプ | 低誘電損失 | A995LD | ・半導体製造用プラズマ装置 |
| 耐熱衝撃タイプ | 耐熱衝撃性 高靱性 |
A995S | ・熱処理プロセスの搬送部品 ・ヒーター周辺部材 |
| 高純度タイプ | 高純度 ポアフリー |
AJPF | ・半導体製造用プラズマ装置 |
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