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ゼロ膨張高剛性セラミックス ZPF

ZPF(Zero thermal expansion Pore Free ceramics)は、セラミックスの高剛性を保ちながら、超低熱膨張性の再結晶化ガラスと同等のゼロ膨張を実現した画期的材料です。
ナノレベルの制御が求められる半導体製造装置(ウェハ露光、レチクル描画等)に対応し、時代の最先端微細化技術を追求するユーザーの厳しいニーズに答えます。

特長、特性(特性値)

特長

  • 低熱膨張(Low thermal expansion)
  • 高剛性(High stiffness)
  • 非磁性(Non-magnetism)
  • ポアフリー(Pore Free)

ZPFと他材質との比較

型番 密度 g/cm3 弾性率 GPa 曲げ強度 MPa 硬度 GPa 熱膨張係数 ×10-6/K 熱伝導率 W/m・K 電気抵抗値 Ω・cm
ZPF N-TYPE 2.5 150 250 7 0 5 1012
低膨張ガラス 2.5 90 50 7 0 2 1013

※熱膨張係数は23±3℃におけるレーザー干渉法による数値

用途

  • バーミラ-、L型ミラ-
  • 静電チャック
  • XYステージ構成部材

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