ゼロ膨張高剛性セラミックス ZPF
ZPF（Zero thermal expansion Pore Free ceramics）は、セラミックスの高剛性を保ちながら、超低熱膨張性の再結晶化ガラスと同等のゼロ膨張を実現した画期的材料です。
ナノレベルの制御が求められる半導体製造装置（ウェハ露光、レチクル描画等）に対応し、時代の最先端微細化技術を追求するユーザーの厳しいニーズに答えます。
特長、特性（特性値）
特長
- 低熱膨張（Low thermal expansion）
- 高剛性（High stiffness）
- 非磁性（Non-magnetism）
- ポアフリー（Pore Free)
ZPFと他材質との比較
| 型番 | 密度 g/cm3 | 弾性率 GPa | 曲げ強度 MPa | 硬度 GPa | 熱膨張係数 ×10-6/K | 熱伝導率 W/m・K | 電気抵抗値 Ω・cm | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ZPF | N-TYPE | 2.5 | 150 | 250 | 7 | 0 | 5 | 1012 |
| 低膨張ガラス | 2.5 | 90 | 50 | 7 | 0 | 2 | 1013 |
※熱膨張係数は23±3℃におけるレーザー干渉法による数値
用途
- バーミラ－、Ｌ型ミラ－
- 静電チャック
- XYステージ構成部材
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