アルミナ（Al2O3）_
ファインセラミックスの中でも最もポピュラーな材料であり、比較的安価に製造できます。
特に電気絶縁性、化学的安定性に優れており、主に構造材料や耐摩耗材料に用いられています。
ラインナップ
| タイプ | 特徴 | 型番 | 用途 |
|---|---|---|---|
| 標準品 | 大型形状可 比較的安価 |
A995 | ・各種半導体製造装置用部材 ・各種液晶装置用大型部品 ・粉体機器用大型耐摩耗部品 |
| 低誘電損失タイプ | 低誘電損失 | A995LD | ・半導体製造用プラズマ装置 |
| 耐熱衝撃タイプ | 耐熱衝撃性 高靱性 |
A995S | ・熱処理プロセスの搬送部品 ・ヒーター周辺部材 |
| 高純度タイプ | 高純度 ポアフリー |
AJPF | ・半導体製造用プラズマ装置 |
用途
- 各種半導体製造装置用部材
- 耐プラズマ部品
- 各種液晶装置用大型部品
- 真空チャック
- 粉体機器用大型耐摩耗部品
- 静電チャック
- 真球ボール（ポンプ用逆止弁 他）
- メカニカルシール
- その他
カタログダウンロード
お問い合わせ
お気軽にお問い合わせください。
製品仕様、資料請求、お見積りなどお問い合わせはこちらから。
