真空チャック（ポーラスチャック）

独自の製法により、ポーラス部と基台部の密着性を高め、境界部においても充分な平面を形成します。
そのため、ウェハ薄化プロセスや大型基板の全面吸着を必要とする製造工程において高い生産性と信頼性の提供が可能となります。
ポーラス体は、ユーザーニーズに合わせた材料および気孔径サイズの選択自由度を持っています。
また、セラミックス基台に冷却用途などの中空溝を設けることもできます。