窒化アルミ（AlN）
熱伝導率が高く、電気絶縁性の高い材料であり、熱伝導率がSiに近い為、半導体製造装置用部材として多く使われております。
特性表
機械特性
| 型番 | 密度 g/cm3 |
弾性率 GPa |
曲げ強度 MPa |
硬度 GPa |
破壊靭性 MPa√m |
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|---|---|---|---|---|---|---|
| 標準品 | N-Type | 3.3 | 320 | 350 | 13 | 3 |
熱、電気特性
| 型番 | 熱膨張係数 ×10-6/K |
耐熱衝撃性 K |
熱伝導率 W/m・K |
電気抵抗値 Ω・cm |
絶縁耐力 kV/mm |
誘電率 | 誘電損失 ×10-4 |
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|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 標準品 | N-Type | 4.0 | 400 | 160 | 1014 | >15 | 9 | 10 |
用途
- 各種半導体製造装置用部材
- 静電チャック
- ヒーター
- 放熱板
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