アルミナ（Al2O3） 耐熱衝撃タイプ
アルミナの耐熱衝撃性を向上させた材料です。
従来の⊿T200℃を大きく凌駕する2.5倍の⊿T500℃を実現します。
高温かつ急冷急加熱を繰り返す環境下では窒化ケイ素、炭化ケイ素などが使われていますが、耐熱衝撃性アルミナセラミックス"A995S"を用いることにより大幅なコスト低減を実現できます。
特長、特性（特性値）
特長
- 酸化雰囲気で使用可
- 汎用高純度アルミナとほぼ同等のコスト（製品形状によります）
- 窒化ケイ素や炭化ケイ素では困難な大型品、複雑形状品、高精度加工品の製作が可能
A995Sと他材質との比較
| 型番 | 密度 g/cm3 | 弾性率 GPa | 曲げ強度 MPa | 熱膨張係数 ×10-6/K | 耐熱衝撃性 K | 熱伝導率 W/m・K | コストパフォーマンス | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| アルミナ標準品 | A995 | 3.9 | 380 | 410 | 7.6 | - | 30 | ◎ |
| アルミナ耐熱衝撃タイプ | A995S | 3.9 | 370 | 230 | 7.1 | 500 | 30 | ◎ |
| 炭化ケイ素 | 3.1 | 410 | 500 | 4.6 | 450 | 170 | △ | |
| 窒化ケイ素 | ASN-5 | 3.2 | 290 | 720 | 2.3 | 700 | 26 | △ |
用途
- ヒーターパネルなど高温域装置周辺部品
- 熱処理プロセスにおける搬送部材
- マイクロ波プラズマチャンバー内部品
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ラインナップ
| タイプ | 特徴 | 型番 | 用途 |
|---|---|---|---|
| 標準品 | 大型形状可 比較的安価 |
A995 | ・各種半導体製造装置用部材 ・各種液晶装置用大型部品 ・粉体機器用大型耐摩耗部品 |
| 低誘電損失タイプ | 低誘電損失 | A995LD | ・半導体製造用プラズマ装置 |
| 耐熱衝撃タイプ | 耐熱衝撃性 高靱性 |
A995S | ・熱処理プロセスの搬送部品 ・ヒーター周辺部材 |
| 高純度タイプ | 高純度 ポアフリー |
AJPF | ・半導体製造用プラズマ装置 |
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