マシナブルセラミックス マコール®
Macor®及びマコール®は米国CORNING社の登録商標です。
『快削性』セラミックス材料なので、一般のセラミックスと比較し、短納期製作が可能です。ダイヤモンド工具以外でも容易に精密機械加工が可能であり、高い絶縁性、耐熱性、断熱性を併せ持つガラス質セラミックスです。
特性表
機械特性
型番 | 密度 g/cm3 |
弾性率 GPa |
曲げ強度 MPa |
硬度 GPa |
破壊靭性 MPa√m |
|
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マコール® | - | 2.5 | 67 | 130 | - | - |
熱、電気特性
型番 | 熱膨張係数 ×10-6/K |
耐熱衝撃性 K |
熱伝導率 W/m・K |
電気抵抗値 Ω・cm |
絶縁耐力 kV/mm |
誘電率 | 誘電損失 ×10-4 |
|
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マコール® | - | 9.3 | 150 | 1.7 | 1016 | 40 | 6 | 50 |
用途
- 各種半導体製造装置用部材
- 各種半導体検査装置用部材