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アルミナ(Al2O3) 低誘電損失タイプ

アルミナの誘電損失を低く安定化させた材料です。 プラズマを用いる装置(CVD、エッチャー)において下記問題点を解決します。
  • ・高出力を掛けないとレートが上がらない。
  • ・個々の装置で同じ出力でレートが安定しない。
  • ・チューニングに手間が掛かる。
  • ・プラズマにムラが出てしまう。

特長、特性(特性値)

電気的特性

標準アルミナとA995LDの比較

特性表

機械特性

  型番 密度
g/cm3
弾性率
GPa
曲げ強度
MPa
硬度
GPa
破壊靭性
MPa√m
標準品 A995 3.9 380 450 16 4
低誘電損失タイプ A995LD 3.9 380 360 15 4
耐熱衝撃タイプ A995S 3.9 370 230 15 -
高純度タイプ AJPF 4.0 400 550 20 3

熱、電気特性

型番 熱膨張係数
×10-6/K
耐熱衝撃性
K
熱伝導率
W/m・K
電気抵抗値
Ω・cm
絶縁耐力
kV/mm
誘電率 誘電損失
×10-4
標準品 A995 7.3 200 30 >1014 12 10 <300
低誘電損失タイプ A995LD 7.5 200 30 >1014 12 10 <5
耐熱衝撃タイプ A995S 7.1 500 30 >1014 - 10 <300
高純度タイプ AJPF 7.7 200 35 >1014 12 10 1

用途

プラズマを不安定化させる要因として、セラミックス使用部材の高誘電損失と不安定化が考えられます。 プラズマを用いる装置(CVD、エッチャー)において下記問題点を解決します。 セラミックスの誘電損失を低く安定化させたA995LDを用いることにより、装置の性能を向上させます。
  • パワーロスを低減することによる省電力化
  • レートの安定化
  • チューニングの省力化
  • プラズマの分散防止

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ラインナップ

タイプ 特徴 型番 用途
標準品 大型形状可
比較的安価
A995 ・各種半導体製造装置用部材
・各種液晶装置用大型部品
・粉体機器用大型耐摩耗部品
低誘電損失タイプ 低誘電損失 A995LD ・半導体製造用プラズマ装置
耐熱衝撃タイプ 耐熱衝撃性
高靱性
A995S ・熱処理プロセスの搬送部品
・ヒーター周辺部材
高純度タイプ 高純度
ポアフリー
AJPF ・半導体製造用プラズマ装置

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