静电卡盘／陶瓷加热器
在陶瓷内部配置金属电极，通过进行一体化熔结 ，可以制作静电卡盘（Electrostatic Chucks）和陶瓷加热器。
运用各种材料技术，形成了可以应对客户需求的静电卡盘／陶瓷加热器系列。在等离子环境领域、电子线使用领域等，从开发、试做阶段，即可提供符合用途要求的产品。
特长、用途
（1）装有加热器的静电卡盘（ESC／加热器）
【材质：AIN（氮化铝）】
- 通过控制AIN的体积电阻率，可以获得大范围的温度域和充分的吸附力。
- 通过自由度高的加热器设计可以实现良好的温度均匀性。
- 因使AIN和电极完成一体化熔结，没有出现因电极的劣化造成的历时变化。
- 可以应对采用接合技术的陶瓷中空结构。
（2）静电卡盘（ESC）
【材质：Al2O3（氧化铝）】
- ・采用层压技术实现极高的面内温度均一性。
- ・通过使用高纯度的氧化铝可以降低金属污染。
- ・在卤素气体等离子体环境下发挥出出色的耐久性。
【材质：热喷涂Al2O3】
- 通过独自的氧化铝热喷涂技术可以形成致密的绝缘层。
- 与氧化铝板类型相比可以更低成本制作。
- 与价格便宜的薄膜类型相比耐久性能高。
（3）陶瓷加热器
【材质：AIN（氮化铝）】
- 由于使用了高热传导性的AIN，实现了良好的的温度均匀性（±0.3%）。
- 拥有IR相机和TC晶圆等的特性检查环境。
技术介绍
◆12inch Chuck的平面精度
平面度在0.2μm以下
◆形状控制
形成对应晶圆形状的卡盘形状（凹凸控制）。
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