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静电卡盘/陶瓷加热器

在陶瓷内部配置金属电极,通过进行一体化熔结 ,可以制作静电卡盘(Electrostatic Chucks)和陶瓷加热器。
运用各种材料技术,形成了可以应对客户需求的静电卡盘/陶瓷加热器系列。在等离子环境领域、电子线使用领域等,从开发、试做阶段,即可提供符合用途要求的产品。

特长、用途

(1)装有加热器的静电卡盘(ESC/加热器)

 【材质:AIN(氮化铝)】

  • 通过控制AIN的体积电阻率,可以获得大范围的温度域和充分的吸附力。
  • 通过自由度高的加热器设计可以实现良好的温度均匀性。
  • 因使AIN和电极完成一体化熔结,没有出现因电极的劣化造成的历时变化。
  • 可以应对采用接合技术的陶瓷中空结构。


(2)静电卡盘(ESC)

 【材质:Al2O3(氧化铝)】

  • ・采用层压技术实现极高的面内温度均一性。
  • ・通过使用高纯度的氧化铝可以降低金属污染。
  • ・在卤素气体等离子体环境下发挥出出色的耐久性。


 【材质:热喷涂Al2O3

  • 通过独自的氧化铝热喷涂技术可以形成致密的绝缘层。
  • 与氧化铝板类型相比可以更低成本制作。
  • 与价格便宜的薄膜类型相比耐久性能高。

(3)陶瓷加热器

 【材质:AIN(氮化铝)】

  • 由于使用了高热传导性的AIN,实现了良好的的温度均匀性(±0.3%)。
  • 拥有IR相机和TC晶圆等的特性检查环境。

技术介绍

◆12inch Chuck的平面精度

 平面度在0.2μm以下

◆形状控制

 形成对应晶圆形状的卡盘形状(凹凸控制)。

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