碳化硅 （SiC）
是共价键和性强的人工矿物，具有超过氧化铝 、氮化硅的硬度。尤其是碳化硅陶瓷是耐滑动磨耗性能极强的材料。即使在高温条件下也保持强度，还具备出色的耐腐蚀性。
特性表
机械特性
| 型号 | 密度 g/cm3 |
弹性模量 GPa |
弯曲强度 MPa |
硬度 GPa |
破坏韧性 MPa√m |
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|---|---|---|---|---|---|---|
| 标准品 | N-Type | 3.1 | 410 | 500 | 24 | 3 |
热、电气特性
| 型号 | 热膨胀系数 ×10-6/K |
耐热冲击性 K |
热传导率 W/m・K |
电气电阻值 Ω・cm |
绝缘耐力 kV/mm |
介电常数 | 介质损耗 ×10-4 |
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|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 标准品 | N-Type | 4.6 | 450 | 170 | 106 | - | - | - |
用途
- 各种半导体制造装置用构件
- 真空卡盘
- 机械密封
- 各种耐损耗、滑动零部件
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