可加工的陶瓷 Macor®
Macor®是美国CORNING公司的登录商标。
由于是“易切削性”陶瓷材料，和一般的陶瓷相比，可以缩短交货期。使用非金刚石工具也能很容易地进行精密机械加工，是一种兼具高绝缘性、耐热性、隔热性的玻璃材质陶瓷。
特性表
机械特性
| 型号 | 密度 g/cm3 |
弹性模量 GPa |
弯曲强度 MPa |
硬度 GPa |
破坏韧性 MPa√m |
|
|---|---|---|---|---|---|---|
| Macor® | - | 2.5 | 67 | 130 | - | - |
热、电气特性
| 型号 | 热膨胀系数 ×10-6/K |
耐热冲击性 K |
热传导率 W/m・K |
电气电阻值 Ω・cm |
绝缘耐力 kV/mm |
介电常数 | 介质损耗 ×10-4 |
|
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Macor® | - | 9.3 | 150 | 1.7 | 1016 | 40 | 6 | 50 |
用途
- 各种半导体制造装置用构件
- 各种半导体检查装置用构件
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