零膨胀高刚性陶瓷 ZPF
ZPF（Zero thermal expansion Pore Free ceramics），在保持陶瓷的高刚性的同时，与具有超低热膨胀特性的再结晶化玻璃同样，实现了零膨胀，是一种划时代的材料。
对应需要纳米级控制的半导体制造装置（晶圆曝光、掩模板绘图等），追求时代最尖端的精细化技术，满足客户最严格的需求。
特长、特性（特征值）
特长
- 低热膨胀（Low thermal expansion）
- 高刚性（High stiffness）
- 非磁性（Non-magnetism）
- 无气孔（Pore Free）
ZPF和其它材质的比较
| 型号 | 密度 g/cm3 | 弹性模量 GPa | 弯曲强度 MPa | 硬度 GPa | 热膨胀系数 ×10-6/K | 热传导率 W/m・K | 电气电阻值 Ω・cm | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ZPF | N-TYPE | 2.5 | 150 | 250 | 7 | 0 | 5 | 1012 |
| 低热膨胀玻璃 | 2.5 | 90 | 50 | 7 | 0 | 2 | 1013 |
※热膨胀系数，是在23±3℃下根据激光干涉法得到的数值
用途
- 棒镜、L型镜
- 静电卡盘
- XY载物台构成的构件
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