事业内容
事业内容
半导体/液晶用的零部件、真空卡盘、静电卡盘/加热器、耐损耗零部件、耐高温零部件、制造和销售的各种精细陶瓷制品等精密机械零件
事业部门 | 产品 | 用途等(主要的最终产品) |
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陶瓷事业部 | 一般结构陶瓷 | 半导体、液晶制造装置 粉末、粉碎处理装置 泵、液体处理装置 (球阀、闸阀等) |
真空卡盘、静电卡盘、多孔卡盘 | 半导体制造装置(晶圆吸附夹具) 液晶制造装置(玻璃基板吸附夹具) |
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热喷涂 | 半导体、液晶制造装置 | |
再生 | 半導体制造装置的零部件再生 | |
荧光板 (PhosCera) | LED、LD照明等 |