产品信息
NTK提供半导体或液晶制造装置用精密零部件/功能性零部件、粉碎机等用耐损耗零部件“结构陶瓷产品”。
产品、服务
NTK CERATEC从材料的开发到加工，以高端的技术和品质来满足顾客的要求。
晶圆卡盘
提供半导体制造上不可缺少的各种规格的晶圆卡盘。
荧光陶瓷板
耐热性强、世界上独一无二的LED/LD用荧光扩散板。根据需求可以调整色彩和尺寸。
热喷涂
实施可以提高耐损耗、耐腐蚀、耐等离子性等性能的陶瓷热喷涂膜层的涂层施工。只要是陶瓷材料，也可以对应一体化制造。
修复（再生）
凭借丰富的经验和独自的洗净技术、修复（再生）技术应对顾客需求。
陶瓷产品
可以使用各种材质按照顾客需求的规格进行生产，也有部分常备产品。
陶瓷材质一览
各種材質からお客様の仕様に沿った製造が可能です。機械特性と熱・電気特性から用途に合った材質をお選び下さい。
小ロットからでもご対応可能です。
| 型号 | 密度 g/cm3 |
弹性模量 GPa |
弯曲强度 MPa |
硬度 GPa |
破坏韧性 MPa√m |
||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 氧化铝 （Al2O3） | 标准品 | A995 | 3.9 | 380 | 410 | 17 | 5 |
| 氧化铝 （Al2O3） | 耐热冲击类型 | A995S | 3.9 | 370 | 230 | 15 | - |
| 氧化锆（ZrO2） | 标准品 | AYZ-3 | 6.0 | 200 | 1000 | 13 | 6 |
| 碳化硅 （SiC） | 标准品 | N-Type | 3.1 | 410 | 500 | 24 | 3 |
| 氮化硅（Si3N4） | 标准品 | ASN-5 | 3.2 | 290 | 720 | 14 | 5 |
| 氮化铝（AlN） | 标准品 | N-Type | 3.3 | 320 | 350 | 13 | 3 |
| 低热膨胀隔热陶瓷 | 阿德色拉姆-CS® | D3 | 2.3 | 90 | 150 | 4.5 | 2 |
| 型号 | 热膨胀系数 ×10-6/K |
耐热冲击性 K |
热传导率 W/m・K |
电气电阻值 Ω・cm |
绝缘耐力 kV/mm |
介电常数 | 介质损耗 ×10-4 |
||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 氧化铝 （Al2O3） | 标准品 | A995 | 7.6 | - | 30 | >1014 | 14 | 10 | <300 |
| 氧化铝 （Al2O3） | 低电介损耗类型 | A995LD | 7.3 | - | 28 | >1014 | 15 | 10 | <5 |
| 氧化铝 （Al2O3） | 耐热冲击类型 | A995S | 7.1 | 500 | 30 | >1014 | - | 10 | <300 |
| 氧化锆（ZrO2） | 标准品 | AYZ-3 | 10 | 280 | 3 | 1012 | >10 | 35 | 20 |
| 碳化硅 （SiC） | 标准品 | N-Type | 4.6 | 450 | 170 | 106 | - | - | - |
| 氮化硅（Si3N4） | 标准品 | ASN-5 | 2.3 | 700 | 26 | >1014 | >10 | 8 | 3 |
| 氮化铝（AlN） | 标准品 | N-Type | 4.0 | 400 | 160 | 1014 | >15 | 9 | 10 |
| 零膨胀高刚性陶瓷 | ZPF | N-Type | - | - | 5 | 1012 | - | - | - |
| 低热膨胀隔热陶瓷 | 阿德色拉姆-CS® | D3 | 0.9 | 700 | 1.3 | 1010 | 20 | 7.5 | 35 |
| 可加工的陶瓷 | Macor® | - | 9.3 | 150 | 1.7 | 1016 | 40 | 6 | 50 |
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