氧化铝 （Al2O3）
是在精密陶瓷中最受欢迎的材料，可实现相对的低成本生产制造。
特别是电气绝缘性、化学稳定性方面性能出色，主要应用于结构材料或耐损耗材料上。
系列表
| 类型 | 特征 | 型号 | 用途 |
|---|---|---|---|
| 标准品 | 可加工大型形状 价格比较便宜 |
A995 | ・各种半导体制造装置用构件 ・各种液晶装置用大型零部件 ・粉末设备用大型耐磨耗零部件 |
| 低电介损耗类型 | 低电介损耗 | A995LD | ・半导体制造用等离子装置 |
| 耐热冲击类型 | 耐热冲击性 高韧性 |
A995S | ・热处理过程的搬运零部件 ・加热器的周边构件 |
| 高纯度类型 | 高纯度 无气孔 |
AJPF | ・半导体制造用等离子装置 |
特性表
机械特性
| 型号 | 密度 g/cm3 |
弹性模量 GPa |
弯曲强度 MPa |
硬度 GPa |
破坏韧性 MPa√m |
|
|---|---|---|---|---|---|---|
| 标准品 | A995 | 3.9 | 380 | 450 | 16 | 4 |
| 低电介损耗类型 | A995LD | 3.9 | 380 | 360 | 15 | 4 |
| 耐热冲击类型 | A995S | 3.9 | 370 | 230 | 15 | - |
| 高纯度类型 | AJPF | 4.0 | 400 | 550 | 20 | 3 |
热、电气特性
| 型号 | 热膨胀系数 ×10-6/K |
耐热冲击性 K |
热传导率 W/m・K |
电气电阻值 Ω・cm |
绝缘耐力 kV/mm |
介电常数 | 介质损耗 ×10-4 |
|
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 标准品 | A995 | 7.3 | 200 | 30 | >1014 | 12 | 10 | <300 |
| 低电介损耗类型 | A995LD | 7.5 | 200 | 30 | >1014 | 12 | 10 | <5 |
| 耐热冲击类型 | A995S | 7.1 | 500 | 30 | >1014 | - | 10 | <300 |
| 高纯度类型 | AJPF | 7.7 | 200 | 35 | >1014 | 12 | 10 | 1 |
用途
- 各种半导体制造装置用构件
- 耐等离子零部件
- 各种液晶装置用大型零部件
- 真空卡盘
- 粉末设备用大型耐损耗零部件
- 静电卡盘
- 正球球阀（泵用逆止阀 其它）
- 机械密封
- 其它
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