氧化铝 （Al2O3）
是在精密陶瓷中最受欢迎的材料，可实现相对的低成本生产制造。
特别是电气绝缘性、化学稳定性方面性能出色，主要应用于结构材料或耐损耗材料上。
系列表
| 类型 | 特征 | 型号 | 用途 |
|---|---|---|---|
| 标准品 | 可加工大型形状 价格比较便宜 |
A995 | ・各种半导体制造装置用构件 ・各种液晶装置用大型零部件 ・粉末设备用大型耐磨耗零部件 |
| 低电介损耗类型 | 低电介损耗 | A995LD | ・半导体制造用等离子装置 |
| 耐热冲击类型 | 耐热冲击性 高韧性 |
A995S | ・热处理过程的搬运零部件 ・加热器的周边构件 |
| 高纯度类型 | 高纯度 无气孔 |
AJPF | ・半导体制造用等离子装置 |
用途
- 各种半导体制造装置用构件
- 耐等离子零部件
- 各种液晶装置用大型零部件
- 真空卡盘
- 粉末设备用大型耐损耗零部件
- 静电卡盘
- 正球球阀（泵用逆止阀 其它）
- 机械密封
- 其它
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