氮化铝（AlN）
是热传导率高、电气绝缘性高的材料，由于热传导率接近SI，作为半导体制造装置用构件得到广泛应用。
特性表
机械特性
| 型号 | 密度 g/cm3 |
弹性模量 GPa |
弯曲强度 MPa |
硬度 GPa |
破坏韧性 MPa√m |
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|---|---|---|---|---|---|---|
| 标准品 | N-Type | 3.3 | 320 | 350 | 13 | 3 |
热、电气特性
| 型号 | 热膨胀系数 ×10-6/K |
耐热冲击性 K |
热传导率 W/m・K |
电气电阻值 Ω・cm |
绝缘耐力 kV/mm |
介电常数 | 介质损耗 ×10-4 |
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|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 标准品 | N-Type | 4.0 | 400 | 160 | 1014 | >15 | 9 | 10 |
用途
- 各种半导体制造装置用构件
- 静电卡盘
- 加热器
- 放热板
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