陶瓷热喷涂
通过高输出功率的大气压等离子热喷涂装置，可以为您提供具有一般无法想象的致密性、低成本、高附加值的陶瓷热喷涂膜层。
陶瓷热喷涂膜层具有耐损耗、耐腐蚀、耐等离子性等性能，可以对应使用目的选择材质和陶瓷基材进行一体化制造生产。
特长、用途
特长
- 致密性膜层
- 高附着力
- 膜层种类：
- (1)Al2O3（氧化铝）
- (2)Y2O3（氧化钇）
用途
- 半导体舱内构件
（最适合蚀刻机、CVD装置用构件） - 各种与耐损耗相关联的构件
- 静电卡盘
技术介绍
◆高输出功率等离子枪
高输出功率双阳极喷枪
形成致密且高附着力的陶瓷膜层。
◆杂质（混入异物）防止
通过在10,000等级的无尘室内进行热喷涂作业，可以极限防止热喷涂膜层上混入异物。
◆热喷涂膜层的表面研磨技术 (Ultra Smooth Polish)
通过过去积累起来的陶瓷加工技术，也可以对热喷涂膜层进行镜面加工。
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