HOME > 产品信息 > > 陶瓷热喷涂

陶瓷热喷涂

通过高输出功率的大气压等离子热喷涂装置,可以为您提供具有一般无法想象的致密性、低成本、高附加值的陶瓷热喷涂膜层。
陶瓷热喷涂膜层具有耐损耗、耐腐蚀、耐等离子性等性能,可以对应使用目的选择材质和陶瓷基材进行一体化制造生产。

特长、用途

特长

  • 致密性膜层
  • 高附着力
膜层种类:
(1)Al2O3(氧化铝)
(2)Y2O3(氧化钇)

用途

  • 半导体舱内构件
    (最适合蚀刻机、CVD装置用构件)
  • 各种与耐损耗相关联的构件
  • 静电卡盘

技术介绍

◆高输出功率等离子枪

高输出功率双阳极喷枪
形成致密且高附着力的陶瓷膜层。

◆杂质(混入异物)防止

通过在10,000等级的无尘室内进行热喷涂作业,可以极限防止热喷涂膜层上混入异物。

◆热喷涂膜层的表面研磨技术 (Ultra Smooth Polish)

通过过去积累起来的陶瓷加工技术,也可以对热喷涂膜层进行镜面加工。

产品目录下载

咨询

インターネットでご相談

关于产品规格、资料索取、报价等,请在此咨询。

お問い合わせフォームはこちら