HOME > 製品情報 > 真空チャック(ポーラスチャック)

真空チャック(ポーラスチャック)

独自の製法により、ポーラス部と基台部の密着性を高め、境界部においても充分な平面を形成します。
そのため、ウェハ薄化プロセスや大型基板の全面吸着を必要とする製造工程において高い生産性と信頼性の提供が可能となります。
ポーラス体は、ユーザーニーズに合わせた材料および気孔径サイズの選択自由度を持っています。
また、セラミックス基台に冷却用途などの中空溝を設けることもできます。

特長・用途

特長

用途

  • ウェハ薄化プロセスの加工用固定治具(グラインダー 、ポリッシャー、CMP)
  • 各種、測定装置、検査装置の固定治具
  • フィルムシートや金属基板などの加工用固定治具

 ※用途に応じて表面コートも対応いたします。(離型性コート、導電性コートetc…)

特性表

 型番密度 g/cm3弾性率 GPa曲げ強度 MPa熱膨張係数 ×10-6/K熱伝導率 W/m・K電気抵抗値 Ω・cm
アルミナA99513.93904507.330>1014
アルミナポーラス-2.555507.4-1011
炭化ケイ素標準品3.14105004.6170106
炭化ケイ素ポーラス-2.155504.7-106

技術紹介

◆吸着・固定の仕組み

 ポーラス体に負圧をかけることによって被吸着物を吸着・固定します。

◆中空溝一体構造

 セラミックス内部に中空構造を形成し、リークの心配もありません。

カタログダウンロード

お問い合わせ

お電話

お気軽にお問い合わせください。

03-5256-2360 (代表) 電話受付時間:平日 9:00 ~ 18:00

インターネットでご相談

製品仕様、資料請求、お見積りなどお問い合わせはこちらから。

お問い合わせフォームはこちら