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マシナブルセラミックス マコール®

Macor®及びマコール®は米国CORNING社の登録商標です。

『快削性』セラミックス材料なので、一般のセラミックスと比較し、短納期製作が可能です。ダイヤモンド工具以外でも容易に精密機械加工が可能であり、高い絶縁性、耐熱性、断熱性を併せ持つガラス質セラミックスです。

特性表

機械特性

  型番 密度
g/cm3
弾性率
GPa
曲げ強度
MPa
硬度
GPa
破壊靭性
MPa√m
マコール® - 2.5 67 130 - -

熱、電気特性

型番 熱膨張係数
×10-6/K
耐熱衝撃性
K
熱伝導率
W/m・K
電気抵抗値
Ω・cm
絶縁耐力
kV/mm
誘電率 誘電損失
×10-4
マコール® - 9.3 150 1.7 1016 40 6 50

用途

  • 各種半導体製造装置用部材
  • 各種半導体検査装置用部材

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