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アルミナ(Al2O3) 耐熱衝撃タイプ

アルミナの耐熱衝撃性を向上させた材料です。 従来の⊿T200℃を大きく凌駕する2.5倍の⊿T500℃を実現します。 高温かつ急冷急加熱を繰り返す環境下では窒化ケイ素、炭化ケイ素などが使われていますが、耐熱衝撃性アルミナセラミックス"A9951S"を用いることにより大幅なコスト低減を実現できます。

特長、特性(特性値)

特長

  • 酸化雰囲気で使用可
  • 汎用高純度アルミナとほぼ同等のコスト(製品形状によります)
  • 窒化ケイ素や炭化ケイ素では困難な大型品、複雑形状品、高精度加工品の製作が可能

A9951Sと他材質との比較

型番 密度 g/cm3 弾性率 GPa 曲げ強度 MPa 熱膨張係数 ×10-6/K 耐熱衝撃性 K 熱伝導率 W/m・K コストパフォーマンス
アルミナ標準品 A9951 3.9 390 450 7.3 200 30
アルミナ耐熱衝撃タイプ A9951S 3.9 370 220 6.9 500 30
炭化ケイ素 3.1 410 500 4.6 450 170
窒化ケイ素 ASN-4 3.2 290 720 2.3 700 26

用途

  • ヒーターパネルなど高温域装置周辺部品
  • 熱処理プロセスにおける搬送部材
  • マイクロ波プラズマチャンバー内部品

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ラインナップ

タイプ 特徴 型番 用途
標準品 大型形状可
比較的安価
A9951 ・各種半導体製造装置用部材
・各種液晶装置用大型部品
・粉体機器用大型耐摩耗部品
低誘電損失タイプ 低誘電損失 A9951LD ・半導体製造用プラズマ装置
耐熱衝撃タイプ 耐熱衝撃性
高靱性
A9951S ・熱処理プロセスの搬送部品
・ヒーター周辺部材
高純度タイプ 高純度
ポアフリー
AJPF ・半導体製造用プラズマ装置

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