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アルミナ(Al2O3)_

ファインセラミックスの中でも最もポピュラーな材料であり、比較的安価に製造できます。
特に電気絶縁性、化学的安定性に優れており、主に構造材料や耐摩耗材料に用いられています。

ラインナップ

タイプ 特徴 型番 用途
標準品 大型形状可
比較的安価
A995 ・各種半導体製造装置用部材
・各種液晶装置用大型部品
・粉体機器用大型耐摩耗部品
低誘電損失タイプ 低誘電損失 A995LD ・半導体製造用プラズマ装置
耐熱衝撃タイプ 耐熱衝撃性
高靱性
A995S ・熱処理プロセスの搬送部品
・ヒーター周辺部材
高純度タイプ 高純度
ポアフリー
AJPF ・半導体製造用プラズマ装置

特性表

機械特性

  型番 密度
g/cm3
弾性率
GPa
曲げ強度
MPa
硬度
GPa
破壊靭性
MPa√m
標準品 A995 3.9 380 450 16 4
低誘電損失タイプ A995LD 3.9 380 360 15 4
耐熱衝撃タイプ A995S 3.9 370 230 15 -
高純度タイプ AJPF 4.0 400 550 20 3

熱、電気特性

型番 熱膨張係数
×10-6/K
耐熱衝撃性
K
熱伝導率
W/m・K
電気抵抗値
Ω・cm
絶縁耐力
kV/mm
誘電率 誘電損失
×10-4
標準品 A995 7.3 200 30 >1014 12 10 <300
低誘電損失タイプ A995LD 7.5 200 30 >1014 12 10 <5
耐熱衝撃タイプ A995S 7.1 500 30 >1014 - 10 <300
高純度タイプ AJPF 7.7 200 35 >1014 12 10 1

用途

  • 各種半導体製造装置用部材
  • 耐プラズマ部品
  • 各種液晶装置用大型部品
  • 真空チャック
  • 粉体機器用大型耐摩耗部品
  • 静電チャック
  • 真球ボール(ポンプ用逆止弁 他)
  • メカニカルシール
  • その他

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