アルミナ(Al2O3)_
ファインセラミックスの中でも最もポピュラーな材料であり、比較的安価に製造できます。
特に電気絶縁性、化学的安定性に優れており、主に構造材料や耐摩耗材料に用いられています。
ラインナップ
タイプ | 特徴 | 型番 | 用途 |
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標準品 | 大型形状可 比較的安価 |
A995 | ・各種半導体製造装置用部材 ・各種液晶装置用大型部品 ・粉体機器用大型耐摩耗部品 |
低誘電損失タイプ | 低誘電損失 | A995LD | ・半導体製造用プラズマ装置 |
耐熱衝撃タイプ | 耐熱衝撃性 高靱性 |
A995S | ・熱処理プロセスの搬送部品 ・ヒーター周辺部材 |
高純度タイプ | 高純度 ポアフリー |
AJPF | ・半導体製造用プラズマ装置 |
特性表
機械特性
型番 | 密度 g/cm3 |
弾性率 GPa |
曲げ強度 MPa |
硬度 GPa |
破壊靭性 MPa√m |
|
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標準品 | A995 | 3.9 | 380 | 450 | 16 | 4 |
低誘電損失タイプ | A995LD | 3.9 | 380 | 360 | 15 | 4 |
耐熱衝撃タイプ | A995S | 3.9 | 370 | 230 | 15 | - |
高純度タイプ | AJPF | 4.0 | 400 | 550 | 20 | 3 |
熱、電気特性
型番 | 熱膨張係数 ×10-6/K |
耐熱衝撃性 K |
熱伝導率 W/m・K |
電気抵抗値 Ω・cm |
絶縁耐力 kV/mm |
誘電率 | 誘電損失 ×10-4 |
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標準品 | A995 | 7.3 | 200 | 30 | >1014 | 12 | 10 | <300 |
低誘電損失タイプ | A995LD | 7.5 | 200 | 30 | >1014 | 12 | 10 | <5 |
耐熱衝撃タイプ | A995S | 7.1 | 500 | 30 | >1014 | - | 10 | <300 |
高純度タイプ | AJPF | 7.7 | 200 | 35 | >1014 | 12 | 10 | 1 |
用途
- 各種半導体製造装置用部材
- 耐プラズマ部品
- 各種液晶装置用大型部品
- 真空チャック
- 粉体機器用大型耐摩耗部品
- 静電チャック
- 真球ボール(ポンプ用逆止弁 他)
- メカニカルシール
- その他