製品情報
半導体・液晶製造装置に使われる精密部品・機能性部品、粉砕機等に使われる耐磨耗部品の「構造セラミックス製品」を取り扱っています。
製品・サービス
NTKセラテックでは、材料の開発から加工まで、高い技術と品質でお客様のご要望にお応えします。
ウェハチャック
半導体製造に欠かせない、様々な仕様のウェハチャックを供給します。
高耐熱の蛍光体プレートシリーズ
熱に強い世界でただ一つのLED / LD用蛍光体分散プレートです。ニーズに応じ、色彩やサイズ等の調整が可能です。
溶射
耐摩耗、耐腐食、耐プラズマ性などを向上させるセラミックス溶射膜を施工します。セラミックス基材であれば、一貫製造も対応できます。
リペア（再生）
豊富な経験と独自の洗浄ノウハウ、リペア技術でご対応します。
セラミックス製品
各種材質からお客様の仕様に沿った製造が可能で、一部常備品もあります。
セラミックス材質一覧
各種材質からお客様の仕様に沿った製造が可能です。機械特性と熱・電気特性から用途に合った材質をお選び下さい。
小ロットからでもご対応可能です。
| 型番 | 密度 g/cm3 |
弾性率 GPa |
曲げ強度 MPa |
硬度 GPa |
破壊靭性 MPa√m |
||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| アルミナ（Al2O3） | 標準品 | A995 | 3.9 | 380 | 450 | 16 | 4 |
| アルミナ（Al2O3） | 耐熱衝撃タイプ | A995S | 3.9 | 370 | 230 | 15 | - |
| ジルコニア（ZrO2） | 標準品 | AYZ-3 | 6.0 | 200 | 1000 | 13 | 6 |
| 炭化ケイ素（SiC） | 標準品 | N-Type | 3.1 | 410 | 500 | 24 | 3 |
| 窒化ケイ素（Si3N4） | 標準品 | ASN-5 | 3.2 | 290 | 720 | 14 | 5 |
| 窒化アルミ（AlN） | 標準品 | N-Type | 3.3 | 320 | 350 | 13 | 3 |
| 低熱膨張断熱セラミックス | アドセラム-CS® | D3 | 2.3 | 90 | 150 | 4.5 | 2 |
| 型番 | 熱膨張係数 ×10-6/K |
耐熱衝撃性 K |
熱伝導率 W/m・K |
電気抵抗値 Ω・cm |
絶縁耐力 kV/mm |
誘電率 | 誘電損失 ×10-4 |
||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| アルミナ（Al2O3） | 標準品 | A995 | 7.3 | 200 | 30 | >1014 | 12 | 10 | <300 |
| アルミナ（Al2O3） | 低誘電損失タイプ | A995LD | 7.5 | 200 | 30 | >1014 | 12 | 10 | <5 |
| アルミナ（Al2O3） | 耐熱衝撃タイプ | A995S | 7.1 | 500 | 30 | >1014 | - | 10 | <300 |
| ジルコニア（ZrO2） | 標準品 | AYZ-3 | 10 | 280 | 3 | 1012 | >10 | 35 | 20 |
| 炭化ケイ素（SiC） | 標準品 | N-Type | 4.6 | 450 | 170 | 106 | - | - | - |
| 窒化ケイ素（Si3N4） | 標準品 | ASN-5 | 2.3 | 700 | 26 | >1014 | >10 | 8 | 3 |
| 窒化アルミ（AlN） | 標準品 | N-Type | 4.0 | 400 | 160 | 1014 | >15 | 9 | 10 |
| ゼロ膨張高剛性セラミックス | ZPF | N-Type | - | - | 5 | 1012 | - | - | - |
| 低熱膨張断熱セラミックス | アドセラム-CS® | D3 | 0.9 | 700 | 1.3 | 1010 | 20 | 7.5 | 35 |
| マシナブルセラミックス | マコール® | - | 9.3 | 150 | 1.7 | 1016 | 40 | 6 | 50 |
お問い合わせ
お気軽にお問い合わせください。
製品仕様、資料請求、お見積りなどお問い合わせはこちらから。
