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静電チャック/セラミックスヒーター

セラミックス内部に金属電極を配置し、一体焼結させることで、静電チャック(Electrostatic Chuck)やセラミックスヒーターを製作することが可能です。
各種材料技術を駆使し、ユーザーニーズに対応できる静電チャック/セラミックスヒーターをラインナップしています。プラズマ環境領域、電子線使用領域等、用途に応じた製品を開発・試作段階から提供します。

特長・用途

(1)ヒーター入り静電チャック(ESC/ヒーター)

 【材質:AlN(窒化アルミニウム)】

  • AlNの体積抵抗率をコントロールすることで、幅広い温度域と十分な吸着力を得ることができます。
  • 自由度の高いヒーター設計により優れた温度均一性が実現できます。
  • AlNと電極を一体焼結するため、電極の劣化による経時変化がありません。
  • 接合技術によるセラミックス中空構造やセラミックスシャフト付きも対応可能です。


(2)静電チャック(ESC)

 【材質:Al2O3(アルミナ)プレート】

  • 高純度のアルミナを使用することでメタルコンタミが低減できます。
  • ハロゲンガスプラズマ環境下で優れた耐久性を発揮します。
  • 高精度加工技術により、自由度の高い面形状をご提供します。


 【材質:溶射Al2O3

  • 独自のアルミナ溶射技術により緻密な絶縁層が形成可能です。
  • アルミナプレートタイプと比べ安価に製作できます。
  • 安価なフィルムタイプと比べて高い耐久性があります。

(3)セラミックスヒーター

 【材質:AlN(窒化アルミニウム)】

  • 高熱伝導性のAlNを使用することにより、優れた温度均一性(±0.3%)が実現できます。
  • IRカメラやTCウェハ等の特性検査環境を保有しています。

技術紹介

◆12inch Chuck平面精度

 平面度0.2μm以下

◆形状コントロール

 ウェハの形状に応じたチャック形状(凹凸制御)を形成します。

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