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洗浄

NC洗浄とはセラミックス製造メーカーであるNTKセラテックが推奨するオリジナル洗浄技術です。
従来落とせないとされていたセラミックス表面の気孔中にあるダストやフッ化化合物等の反応生成物による汚れを完全除去することが可能です。セラミックスにダメージを与えることもありません。
弊社の高い技術と品質で、製造装置の歩留まり向上やコスト低減に貢献します。

特長・用途

特長

  • ダメージレスで、新品同様の仕上がり
  • AlF3、その他のデポ物の完全除去が可能
  • プロセスチャンバー内のダストの低減及び立上げ時間の短縮が可能

洗浄対応材質

  • セラミックス系
    Al2O3 96%~99.99%・Al2O3 99.9%(HIP)・Sapphire・Quartz・Si3N4・SiC
  • 樹脂系
    Teflon ・ Vespel
  • 金属系
    Al(アルミニウム)・SUS(ステンレス)

技術紹介

◆洗浄例

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