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事業内容

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半導体・液晶用部品、真空チャック、静電チャック・ヒーター、耐磨耗部品、耐熱部品、その他精密機械部品などの各種ファインセラミックス製品の製造及び販売

事業部門  製品 用途など(主な最終製品)
セラミック事業部 一般構造用セラミックス 半導体・液晶製造装置
粉体・粉砕処理装置
ポンプ・液体処理装置(ボール、バルブなど)
真空チャック・静電チャック・ポーラスチャック 半導体製造装置(ウェハ吸着冶具)
液晶製造装置(ガラス基板吸着冶具)
溶射 半導体・液晶製造装置
洗浄・再生 半導体製造装置の部品再生
蛍光体プレート(フォスセラ) LED・LD照明など

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