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事业内容

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半导体/液晶用的零部件、真空卡盘、静电卡盘/加热器、耐损耗零部件、耐高温零部件、制造和销售的各种精细陶瓷制品等精密机械零件

事业部门  产品 用途等(主要的最终产品)
陶瓷事业部 一般结构陶瓷 半导体、液晶制造装置
粉末、粉碎处理装置
泵、液体处理装置 (球阀、闸阀等)
真空卡盘、静电卡盘、多孔卡盘 半导体制造装置(晶圆吸附夹具)
液晶制造装置(玻璃基板吸附夹具)
热喷涂 半导体、液晶制造装置
再生 半導体制造装置的零部件再生
荧光板 (PhosCera) LED、LD照明等

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